半導体製造装置の真空チャンバー本体や周辺ボディの、アルミ大型削り出し部品の発注先を探しています。

この条件で判断すること

本ページは「半導体製造装置の真空チャンバー アルミ削り出しの発注先を探している」という用途ドリブンの調達ニーズに対して、深江特殊鋼（素材＋大型前加工）と由紀ホールディングス（精密5軸仕上げ）でどう組み合わせて応えるかを整理したものです。型番・寸法ベースのページとは違い、半導体装置の用途要件側から逆引きします。

発注前の判断軸

5軸の精密加工と、大型・厚肉ボディの一貫加工を、どこで分担し、どこで素材調達を握るのが最短ルートか。

半導体製造装置の真空チャンバーは、内部の真空度・パーティクル管理・温度均一性・耐プラズマ性を満たすために、アルミ削り出しで大型ボディを作り、内部に冷却流路・ガスライン・シール溝を一体加工することが多い。形状は5軸でしか出せないが、ボディ全体は大型MC・BTA深穴で抑える必要があり、片方の能力だけでは対応が片肺になります。素材調達でも、A5052／A6061／A7075 など合金系の選定がそのまま熱伝導と耐プラズマ性に直結し、装置メーカーの仕様書に縛りがあるケースが多いです。

真空チャンバーの加工要件は「大型 × 精密」の両立

半導体製造装置の真空チャンバーは、外形は数百〜1,000mm級の大型アルミ削り出しが多く、内部にはシール溝（Ra0.8以下）・ガスライン・冷却流路・電極装着面が一体加工されます。大型MC・BTA深穴の能力と、5軸複合の精密形状加工能力の両方が必要で、片方の能力だけでは経路が片肺になります。本ページは、深江特殊鋼の大型・素材側能力と、由紀グループの精密5軸側能力を組み合わせる経路設計を前提に書いています。

アルミ合金系の選定と被削性・熱伝導の関係

A5052 は耐食性・成形性に優れ汎用ボディに向き、A6061 は強度と被削性のバランスが良く構造部材に多用、A7075 は高強度で構造体や治具用、A2017 は構造用ジュラルミンとして剛性が要る部位に使われます。半導体装置では耐プラズマ性・熱伝導性が選定軸に入るため、装置メーカーの仕様書で合金系が指定されているケースが多く、深江特殊鋼ではそれぞれの合金系を自社在庫から段取りできるため、図面差し替えに伴う材料リードタイムを抑えられます。

経路設計: ボディ側と部品側で切り分ける

真空チャンバー本体は大型MCで素地段取り、長尺の冷却ポート・ガスポートは深江特殊鋼のBTA深穴で抜き、複雑形状の電極座やフランジ、シャワーヘッド側は由紀グループの5軸で仕上げる、という二段構えで経路を組みます。素材手配は深江特殊鋼が握り、装置メーカー側の納期に合わせて加工順を可変にします。装置メーカー側の単一発注先指定が必要な場合は、深江特殊鋼が一次窓口、由紀グループは二次工程として運用します。

確認が必要な条件

• 材料: A5052／A6061／A7075／A2017 等のアルミ各系
• 加工方式: 5軸複合 + 大型MC/BTA深穴の組み合わせ
• サイズ: 100mm角小物 〜 大型MC領域（2200×4000mm相当）の大型ボディ
• 面粗度: 一般部 Ra1.6／シール面 Ra0.8以下／一部 Ra0.4 まで
• 用途: 成膜装置／エッチング装置／検査装置の真空チャンバー・電極周辺・ガスマニホールド

制約と代替案

• クリーンルーム洗浄・パッキング・出荷形態は装置メーカー側の指定に依存し、当社単独では完結しないケースがある
• プラズマ照射部の表面処理（アルマイト硬質・耐プラズマコーティング）は外注工程となり、別認定先での実施になる